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離線ttb2016

技術(shù)專家

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2016-06-02

關(guān)鍵詞：光學(xué)輪廓儀

一種便攜式光學(xué)表面輪廓儀，需要的下載。

摘要：研究了一種基于短相干光相移干涉法的便攜式光學(xué)表面輪廓儀，分析了短相干光干涉顯微鏡相移干涉技術(shù)，實現(xiàn)了基于該項技術(shù)的光干涉顯微系統(tǒng)。采用光路集成化的設(shè)計方法，實現(xiàn)了一體化輪廓儀光路集成，優(yōu)化了機械三維調(diào)整測量臺，實現(xiàn)了可用于大、小口徑元件表面測量的正置、倒置兩種測量模式。測試結(jié)果表明，儀器的粗糙度測量精度為0.1 nm，重復(fù)性誤差優(yōu)于0.01 nm，橫向分辨率優(yōu)于1μm。

附件:

一種便攜式光學(xué)表面輪廓儀.rar (3614 K) 下載次數(shù):59 ，售價:2光幣[記錄]

共1條評分，光幣+10

cyqdesign

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2016-06-02

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離線jsdyf

高級工程師

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2018-08-31

好資料，下載學(xué)習(xí)下

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離線liqiuguo

技術(shù)員

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2019-05-24

真是太感謝了真是太感謝了

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離線不行就隨便

實習(xí)生

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2020-09-27

先下后看，怎么不能出一個預(yù)覽功能啊

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離線lqqmuc2009

實習(xí)生

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2021-05-28

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