摘要：采用離子束濺射制備了AlF3、GdF3單層膜及193 nm減反和高反膜系，分別使用分光光度計(jì)、原子力顯微鏡和應(yīng)力儀研究了薄膜的光學(xué)特性、微觀結(jié)構(gòu)以及殘余應(yīng)力。在優(yōu)選的沉積參數(shù)下制備出消光系數(shù)分別為1.1×10-4和3.0×10-4的低損耗AlF3和GdF3薄膜，對(duì)應(yīng)的折射率分別為1.43和1.67，193 nm減反膜系的透過(guò)率為99.6%，剩余反射幾乎為零，而高反膜系的反射率為99.2%，透過(guò)率為0.1%。應(yīng)力測(cè)量結(jié)果表明，AlF3薄膜表現(xiàn)為張應(yīng)力而GdF3薄膜具有壓應(yīng)力，與沉積條件相關(guān)的低生長(zhǎng)應(yīng)力是AlF3和GdF3薄膜殘余應(yīng)力較小的主要原因，采用這兩種材料制備的減反及高反膜系應(yīng)力均低于50 MPa。針對(duì)平面和曲率半徑為240 mm的凸面元件，通過(guò)設(shè)計(jì)修正擋板，250 mm口徑膜厚均勻性均優(yōu)于97%。為亞納米精度的平面元件鍍制193 nm減反膜系，鍍膜后RMS由0.177 nm變?yōu)?.219 nm。 顺昌县| 枣庄市| 理塘县| 阿尔山市| 淳安县| 青田县| 深水埗区| 高平市| 渝北区| 贡嘎县| 黄梅县| 华容县| 辉县市| 斗六市| 武汉市| 任丘市| 潼关县| 平度市| 江陵县| 沧州市| 商水县| 滨海县| 洪湖市| 洪洞县| 左贡县| 汶上县| 南漳县| 平南县| 沂南县| 建水县| 云林县| 武川县| 依安县| 塔城市| 聊城市| 泸水县| 灵宝市| 堆龙德庆县| 璧山县| 昌宁县| 莱阳市|