光柵式傳感器指采用光柵疊柵條紋原理測(cè)量位移的傳感器。光柵是由大量等寬等間距的平行狹縫構(gòu)成的光學(xué)器件。 p?,T%G+gqO  
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一般常用的光柵是在玻璃片上刻出大量平行刻痕制成，刻痕為不透光部分，兩刻痕之間的光滑部分可以透光，相當(dāng)于一狹縫。精制的光柵，在1cm寬度內(nèi)刻有幾千條乃至上萬條刻痕。 zbZN-j#  
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這種利用透射光衍射的光柵稱為透射光柵，還有利用兩刻痕間的反射光衍射的光柵，如在鍍有金屬層的表面上刻出許多平行刻痕，兩刻痕間的光滑金屬面可以反射光，這種光柵成為反射光柵。由光柵形成的疊柵條紋具有光學(xué)放大作用和誤差平均效應(yīng)，因而能提高測(cè)量精度。 2#_i_j  
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光柵傳感器由標(biāo)尺光柵、指示光柵、光路系統(tǒng)和測(cè)量系統(tǒng)四部分組成。標(biāo)尺光柵相對(duì)于指示光柵移動(dòng)時(shí)，便形成大致按正弦規(guī)律分布的明暗相間的疊柵條紋。 yP 抚远县| 泸水县| 峨山| 波密县| 孟津县| 汪清县| 安塞县| 贵港市| 大渡口区| 正蓝旗| 新乡市| 合江县| 佳木斯市| 汝州市| 芜湖县| 阜南县| 大关县| 古蔺县| 兴安盟| 康马县| 烟台市| 林周县| 城步| 孙吴县| 共和县| 临漳县| 桐乡市| 建昌县| 太保市| 眉山市| 南充市| 石景山区| 朝阳县| 和硕县| 云南省| 竹山县| 色达县| 玉树县| 临高县| 九寨沟县| 金川县|