衡量微透鏡光學(xué)質(zhì)量的性能參數(shù)有很多，對于折射微透鏡有焦距、表面粗糙度、陣列均勻性等物理參數(shù)和點擴(kuò)散函數(shù)等光學(xué)性能參數(shù)，而對于衍射微透鏡有衍射效率這一重要參數(shù)。目前，針對微透鏡參數(shù)的測量方法有多種，如干涉法、CCD直接成像法、哈特曼波前傳感器測量法、刀口振動法、莫爾法、泰伯效應(yīng)法等等，各種方法所利用的光學(xué)原理各不相同，也各有優(yōu)缺點。 3pm;?6i6  
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微透鏡陣列的填充因子ρ是指單元元件的有效通光面積S_0與單元總面積S_total的比值，它決定了元件對光能的匯聚和發(fā)散能力。填充因子與元件的形狀和排列方式有關(guān)，如采用圓孔徑，傳統(tǒng)的正交排列微透鏡陣列的填充因子最大為78．5%，六邊形排列微透鏡陣列的填充因子最大為90%。而采用方形孔徑和六邊形孔徑填充方式，理論上填充因子可達(dá)到100%，但由于透鏡孔徑邊緣處面形誤差的存在使得其有效折光能力下降，填充因子會降低。面形輪廓的控制范圍越大，則加工誤差越小，填充因子就越高。 2TY|)ltsF  
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表面粗糙度表征了微單元表面上的平整度。由于微光學(xué)元件在加工過程中包括多個工藝步驟，而且光刻膠、基片及去離子水的潔凈度的高低，或在光刻過程中都會影響元件表面的粗糙度。 {V8v  
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使用原子力顯微鏡測出了一組微透鏡孔徑的直徑(D)和厚度(h)，見下表。陣列樣品中隨機(jī)選取的10透鏡的直徑、厚度、焦距等參數(shù)。微透鏡焦距均勻性誤差定義為： = 乡宁县| 巢湖市| 武冈市| 诸暨市| 凌云县| 昌黎县| 招远市| 郑州市| 化州市| 桓台县| 宝坻区| 嘉禾县| 临朐县| 东安县| 蒙山县| 行唐县| 育儿| 五华县| 玉溪市| 五华县| 灌阳县| 汝南县| 全州县| 平南县| 绥中县| 松溪县| 临海市| 鄂托克前旗| 喜德县| 大田县| 苗栗县| 桃园市| 房山区| 西华县| 北京市| 普定县| 芦山县| 上虞市| 同心县| 庆阳市| 双柏县|