①DOME溫度過高，可以嘗試降低溫度。 ?Nf>]|K:Q  
②預清潔功率過大或時間過長，造成基板表面粗糙度增大引起發(fā)霧。 4#x5MM  
③H4和MGF2鍍增透膜的話，可以溫度設定在300℃左右。

ouyuu:沒人覺得是散射嗎？ Me 5_4H&Sg  
問題還在結晶上，試著調整一下鍍膜溫度和速率，還有充氧。 0
GJn_@hr  
其實有離子源會更好些。 (2017-08-21 17:22)  a4irokJv#  

bV ZMW/w  
溫度、速率還有充氧具體要像哪個方向調節(jié)呢，比如說沖多點氧還是少點

dcfcwdx:溫度、速率還有充氧具體要像哪個方向調節(jié)呢，比如說沖多點氧還是少點 (2018-08-30 13:27)  ELj\[&U  

l,kUhZ@W  
這個只有自己慢慢試。改變條件可以改變結晶大小，但是哪個更好要自己試的。

問題弄好了嗎？

起霧有時候不一定是膜的問題。玻璃基片洗不凈的情況下也有可能導致起霧，玻璃認真清潔或者用手擦拭后鍍膜試一下。

鍍膜溫度過高，氧化鈦高溫下結晶發(fā)霧！

發(fā)蒙或者發(fā)霧可以從工藝和膜料入手排查原因，如果只鍍氟化鎂和H4的話，問題應該在H4上面

會不會溫度過高

還有你的基底材料是什么？加了離子源沒有？

膜外⽩霧 ~V\D|W9  
現象：鍍膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩霧，⽤丙酮或混合液擦拭，會有越擦越嚴重的現象。 mD^jd+  
⽤氧化鈰粉擦拭，可以擦掉或減輕，（⼜稱：可擦拭壓克） }n4
V|f-  
分析：膜外⽩霧的成因較為復雜，可能的成因有： \Ol kM<  
① 膜結構問題：外層膜的柱狀結構松散，外層膜太粗糙； `|ASx8_!  
② 蒸發(fā)⾓過⼤，膜結構粗糙。 T>NDSami  
③ 溫差：鏡⽚出罩時內外溫差過⼤ /K.!sQ$  
④ 潮⽓；鏡⽚出罩后擺放環(huán)境的潮⽓ eep1I :N  
⑤ 真空室內POLYCOLD解凍時⽔汽過重 ,f[>L|?e  
⑥ 蒸鍍中充氧不完全，膜結構不均勻 @ < Q|5 应用必备| 阿瓦提县| 屏东市| 开平市| 德州市| 内丘县| 余江县| 尤溪县| 高淳县| 黄冈市| 鄂温| 清流县| 永清县| 哈尔滨市| 广宁县| 娄烦县| 甘孜| 全南县| 博爱县| 利川市| 资阳市| 青岛市| 同仁县| 新乡县| 周宁县| 福安市| 桂东县| 江源县| 泸水县| 女性| 邢台市| 吴堡县| 西安市| 沁源县| 红桥区| 锡林浩特市| 贵阳市| 辉县市| 孙吴县| 肇庆市| 阳朔县|