①DOME溫度過高，可以嘗試降低溫度。 .KucjRI  
②預(yù)清潔功率過大或時(shí)間過長(zhǎng)，造成基板表面粗糙度增大引起發(fā)霧。 /w M  
③H4和MGF2鍍?cè)鐾改さ脑挘�可以溫度設(shè)定在300℃左右。

ouyuu:沒人覺得是散射嗎？ eKVALUw  
問題還在結(jié)晶上，試著調(diào)整一下鍍膜溫度和速率，還有充氧。 Sf&?3a+f  
其實(shí)有離子源會(huì)更好些。 (2017-08-21 17:22)  6I>5~?
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溫度、速率還有充氧具體要像哪個(gè)方向調(diào)節(jié)呢，比如說沖多點(diǎn)氧還是少點(diǎn)

dcfcwdx:溫度、速率還有充氧具體要像哪個(gè)方向調(diào)節(jié)呢，比如說沖多點(diǎn)氧還是少點(diǎn) (2018-08-30 13:27)  Q`S iV  

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這個(gè)只有自己慢慢試。改變條件可以改變結(jié)晶大小，但是哪個(gè)更好要自己試的。

問題弄好了嗎？

起霧有時(shí)候不一定是膜的問題。玻璃基片洗不凈的情況下也有可能導(dǎo)致起霧，玻璃認(rèn)真清潔或者用手擦拭后鍍膜試一下。

鍍膜溫度過高，氧化鈦高溫下結(jié)晶發(fā)霧！

發(fā)蒙或者發(fā)霧可以從工藝和膜料入手排查原因，如果只鍍氟化鎂和H4的話，問題應(yīng)該在H4上面

會(huì)不會(huì)溫度過高

還有你的基底材料是什么？加了離子源沒有？

膜外⽩霧 +p9- .YM  
現(xiàn)象：鍍膜完成后，表⾯有⼀些淡淡的⽩霧，⽤丙酮或混合液擦拭，會(huì)有越擦越嚴(yán)重的現(xiàn)象。 vv+km 揭阳市| 庄浪县| 平陆县| 阿瓦提县| 安溪县| 漳平市| 龙岩市| 福州市| 昌乐县| 望江县| 明光市| 新乐市| 湘阴县| 山丹县| 阳西县| 荥阳市| 藁城市| 新津县| 进贤县| 缙云县| 怀远县| 安国市| 宁强县| 阿图什市| 嘉善县| 密山市| 会泽县| 万盛区| 太谷县| 河北省| 丹棱县| 金山区| 泽普县| 阳东县| 永仁县| 南靖县| 安化县| 新安县| 宜黄县| 宣威市| 大田县|