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[求助]光弛1300鍍膜機(jī)離子源柵網(wǎng)更換后氧化硅與氧化鈦匹配系數(shù)失衡，請(qǐng)大神幫忙分析一下 [復(fù)制鏈接]

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離線(xiàn)liujun0527

工程師

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2017-06-07

各位好，最近在生產(chǎn)中發(fā)現(xiàn)鍍膜機(jī)固定的2套柵網(wǎng)周期性更換后，內(nèi)外圈氧化硅與氧化鈦材料匹配系數(shù)失衡，導(dǎo)致曲線(xiàn)頻譜落差變大，請(qǐng)各大神指導(dǎo)一下從哪些方向上分析改善。

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離線(xiàn)756340418

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2017-06-13

修補(bǔ)正板

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離線(xiàn)yzhuang

論壇版主

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2017-06-27

一樓正解，大家一定要注意的是，離子源的狀態(tài)會(huì)影響膜層的位置均勻性，更換離子源部件或者調(diào)整離子源參數(shù)都可能會(huì)發(fā)生樓主那樣的情況

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離線(xiàn)囊中蓄乾坤

助理工程師

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2017-06-30

如果只是鍍前轟擊的話(huà)，會(huì)不會(huì)影響鍍膜的均勻性。遇到過(guò)在鍍后轟擊會(huì)引起膜層不均勻的現(xiàn)象。

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離線(xiàn)拉比熊

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2017-07-05

首先檢測(cè)的是離子源柵網(wǎng)更換是的重復(fù)性工作，其次才是MASK

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離線(xiàn)奔跑的小駿馬

助理工程師

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2017-07-22

MASK只是修正鐘罩的，而鐘罩是不變得。所以我們要從以下幾個(gè)方面去考慮：
1、鐘罩是否變形，你可以從鐘罩的幾個(gè)不同的位置去取測(cè)試片對(duì)比以下特性的差異，有可能是因?yàn)殓娬肿冃危看稳〉臏y(cè)試片位置不一致導(dǎo)致特性不停的變動(dòng)；
2、查看離子源的蒸發(fā)角度是否發(fā)生變化，主要是離子源的傾斜角度，出廠都有參數(shù)的。角度變化導(dǎo)致離子分布變化，從而影響特性；


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