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[討論]膜厚儀tooling問題 [復(fù)制鏈接]

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離線cugzqq

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2018-10-17

關(guān)鍵詞：膜厚儀

請問大家，為什么修改tooling膜的厚度也會變化呢，tooling是怎么控制膜厚的，工作原理是什么？謝謝！

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離線ouyuu

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2018-10-17

TOOLING是個比例。
因為位置，角度，遮擋的不同，
膜厚儀上得到的膜厚和實際鍍在片子上的膜厚是不一樣的。

離線morningtech

助理工程師

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2018-10-17

定義上，膜厚儀中材料 Tooling = 樣品上層厚度/晶振片上層厚度