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[討論]膜厚儀tooling問(wèn)題 [復(fù)制鏈接]

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離線(xiàn)morningtech

助理工程師

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只看該作者 10樓發(fā)表于: 2018-10-18

這容易繞人

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只看該作者 11樓發(fā)表于: 2018-10-18

膜厚儀直接監(jiān)控的是水晶片的震蕩頻率。
水晶膜厚是根據(jù)你設(shè)定的材料參數(shù)算出來(lái)的。
TOOLING只是參數(shù)的一種，用來(lái)折算到你實(shí)際片子上的膜厚。
另外各種材料的密度PID參數(shù)其實(shí)也是不同的。
如果實(shí)在搞不懂把TOOLING設(shè)為1，實(shí)際膜厚自己折算就是。

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離線(xiàn)morningtech

助理工程師

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只看該作者 12樓發(fā)表于: 2018-10-20

Tooling是鍍膜入門(mén)中比較簡(jiǎn)單的一個(gè)問(wèn)題，設(shè)成100%是種方法，有其好處。但不很建議這么做，因?yàn)檫@樣會(huì)把膜系改的面目全非；換一個(gè)膜系時(shí)，也要把這個(gè)系數(shù)乘進(jìn)每一層。


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