[討論]膜厚儀tooling問(wèn)題 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2018-10-17

關(guān)鍵詞：膜厚儀

請(qǐng)問(wèn)大家，為什么修改tooling膜的厚度也會(huì)變化呢，tooling是怎么控制膜厚的，工作原理是什么？謝謝！

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離線ouyuu

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2018-10-17

TOOLING是個(gè)比例。
因?yàn)槲恢茫嵌龋趽醯牟煌?span style="display:none"> ["65\GI?
膜厚儀上得到的膜厚和實(shí)際鍍?cè)谄由系哪ず袷遣灰粯拥摹?

離線morningtech

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定義上，膜厚儀中材料 Tooling = 樣品上層厚度/晶振片上層厚度
如ouyuu說(shuō)，就是個(gè)比例系數(shù)。
有了這個(gè)參數(shù)，鍍膜時(shí)，膜厚儀上的顯示厚度就等同于是樣品上的厚度。

離線morningtech

助理工程師

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改變了tooling參數(shù)，那么晶控儀為達(dá)到同樣的樣品厚度（設(shè)計(jì)厚度），監(jiān)控到的晶振片的層厚度就變了。假定二者真實(shí) 比例未變，那樣品上的厚度也必將變化。

離線cugzqq

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morningtech:改變了tooling參數(shù)，那么晶控儀為達(dá)到同樣的樣品厚度（設(shè)計(jì)厚度），監(jiān)控到的晶振片的層厚度就變了。假定二者真實(shí) 比例未變，那樣品上的厚度也必將變化。 JSu+/rI1
(2018-10-17 11:57) 8/BWe ;4

問(wèn)題是：晶振頻率變化與質(zhì)量增加之間是存在公式，根據(jù)每秒頻率的變化確認(rèn)厚度的變化，晶控讀數(shù)不變，頻率變化也是不變化的，更改tooling是改變了膜厚儀什么地方使得實(shí)際厚度變了？

離線cugzqq

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2018-10-17

回 ouyuu 的帖子

ouyuu:TOOLING是個(gè)比例。 8T}Dn\f
因?yàn)槲恢茫嵌龋趽醯牟煌?span style="display:none"> Q=h37]U+
膜厚儀上得到的膜厚和實(shí)際鍍?cè)谄由系哪ず袷遣灰粯拥摹?span style="color:gray "> (2018-10-17 08:46) tKYg

離線morningtech

助理工程師

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2018-10-17

tooling變了，顯示厚度不變，頻率變化是變的。
晶控顯示厚度讀數(shù)是帶了tooling值的，只是給用戶看的，內(nèi)部計(jì)算到的厚度是變的。
一個(gè)式子三個(gè)量，一個(gè)量（顯示厚度，即設(shè)計(jì)厚度）不變，另兩個(gè)同時(shí)變，呵呵。

離線cugzqq