最近在搞射頻源,大致已經(jīng)有眉目了。 NEk [0
具體參數(shù)如下:口徑175mm; X&IY(CX
陽極電壓500~1200V,電流500~1200mA(自動匹配); S&*pR3,u
射頻陰極電流500~2000mA。(自動匹配) cF2/}m]
啟動時間比較短,大概5分鐘就能達(dá)到平穩(wěn)。 H/$q]i*#K
冷卻時間需要比較長,大概10~30分鐘。 f/yK|[g~
bhmjH(.t
柵網(wǎng)壽命大概2年左右,100小時保養(yǎng)一次,陰極50小時保養(yǎng)一次。