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JCMsuite的應(yīng)用領(lǐng)域 BKE\SWu RNv{n
mf 現(xiàn)代納米光學(xué)系統(tǒng)的復(fù)雜性使得大量的仿真非常必要。 JCMsuite提供的超嚴(yán)格的仿真可以讓設(shè)計(jì)者深刻理解相關(guān)現(xiàn)象,了解更多不同領(lǐng)域帶來的挑戰(zhàn)。 $i,6B9 +={ 計(jì)算光刻 &Pu+(~'Q C6K|:IK{
g(-;_j!= ruZYehu1W JCMsuite提供了完整的光學(xué)仿真鏈:對復(fù)雜照明的描述,通過光學(xué)成像系統(tǒng)和光掩模傳播的光場的計(jì)算,直至在光刻膠中形成圖像。 ki;!WhF~ Zz"I.$$[M 計(jì)算計(jì)量學(xué) l;XU#6{ zyaW3th
ZB~l2 A#v|@sul 周期大于照明波長一半的結(jié)構(gòu)的光學(xué)計(jì)量已成為標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量技術(shù)。 但是,快速嚴(yán)格的仿真技術(shù)以及設(shè)計(jì)好的測量裝備允許在深亞波長范圍內(nèi)使用光學(xué)計(jì)量方法。 d{QMST2& vC{h2A 波導(dǎo)和光纖 WW//heJe- \p5|}<Sr)
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