1982年，中科院研制出的KHA-75-1光刻機(jī)，和當(dāng)時(shí)最先進(jìn)的佳能光刻機(jī)相比，差距也就在四年左右。可惜后續(xù)因?yàn)闆](méi)有投放到商用領(lǐng)域，以及科研經(jīng)費(fèi)的不足，為了促活經(jīng)濟(jì)，國(guó)內(nèi)開始采購(gòu)集成電路生產(chǎn)線設(shè)備，國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的研究，無(wú)奈進(jìn)入了停滯狀態(tài)。 -IlJ
^Al4  
2eeQ@]Wj[Z  
H* ,,^  
關(guān)于KHA-75-1光刻機(jī) r[.>P$U  
科學(xué)院109廠、哈爾濱量具刃具廠、阿城繼電器廠共同研制的KHA75-1型接近、接觸式半自動(dòng)光刻機(jī)。

那時(shí)候的條件就那樣吧，留下的就是遺憾！