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    [討論]關(guān)于國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的那段歷史 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2021-11-30
    關(guān)鍵詞: 光刻機(jī)
    1982年,中科院研制出的KHA-75-1光刻機(jī),和當(dāng)時(shí)最先進(jìn)的佳能光刻機(jī)相比,差距也就在四年左右。可惜后續(xù)因?yàn)闆]有投放到商用領(lǐng)域,以及科研經(jīng)費(fèi)的不足,為了促活經(jīng)濟(jì),國(guó)內(nèi)開始采購(gòu)集成電路生產(chǎn)線設(shè)備,國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的研究,無(wú)奈進(jìn)入了停滯狀態(tài)。 No:^hY:F8  
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