請教各位大佬，鍍膜中的APC充氧有什么作用？

補(bǔ)充氧氣，穩(wěn)定真空度。 L{E^?iX  
不同真空度下，膜的分布和致密度都是不一樣的。 EwS!]h?  

但是不是真空度越高對膜層堆疊越好嗎？

APC充氧主要作用是保證鍍膜材料氧化充分，不然吸收會比較大

xzaxd:但是不是真空度越高對膜層堆疊越好嗎？ (2022-06-20 11:34)  K?#]("De6  

NHw x:-RH  
理論上是這樣。但是實(shí)際上也要考慮機(jī)臺生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機(jī)初期抽速較好的情況下，人為的降低一點(diǎn)真空度。有射頻離子源的情況下，一般離子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于離子源供氧）

ouyuu:理論上是這樣。但是實(shí)際上也要考慮機(jī)臺生產(chǎn)的穩(wěn)定性。在清機(jī)初期抽速較好的情況下，人為的降低一點(diǎn)真空度。有射頻離子源的情況下，一般離子源才是供氧的主力。（APC流量一般小于離子源供氧） (2022-07-02 19:40)  gb-{2p>}  

@Gjny BJ  
明白了！謝謝版主

奔跑的小駿馬:APC充氧主要作用是保證鍍膜材料氧化充分，不然吸收會比較大 (2022-06-21 18:22)  b(T@~P/  

ZgF/;8!~V-  
好的！

解決吸收，保證材料充分氧化

補(bǔ)充氧氣，穩(wěn)定真空度

APC功能上就是壓力控制儀， 一般和離子源或者M(jìn)FC（流量質(zhì)量控制器）配合使用，用來穩(wěn)定鍍膜真空度維持氧氣分壓的 5G oK"F0i  
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