首先聲明一下，在這里表達(dá)的只是個(gè)人看法，并不一定有道理。 M7qg\1L  
關(guān)于鍍膜，大家都追求的是鍍膜的連續(xù)性和穩(wěn)定性。 VnN(lJ  
甚至為了穩(wěn)定性，一些鍍膜機(jī)廠家寧可犧牲性能。 ;-i)}<  
比如說鍍膜過程中使用APC充氧： HE*^!2f  
很多人認(rèn)為APC充氧只是為了給類似于TiO2這些易失氧膜料進(jìn)行補(bǔ)氧。 p+Yy"wH:h{  
其實(shí)不然。使用離子源的情況下，氧其實(shí)是足夠的。 rE"FN~9P  
APC充氧還有一個(gè)重要的目的，維持鍍膜環(huán)境的穩(wěn)定性。 JSFNn]z2P  
APC是自動(dòng)壓力控制的英文縮寫，它能起到穩(wěn)定真空腔體真空度的作用。 klmbbLc
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^Cp;#|g,  
在真空中，有個(gè)平均自由程的概念，一個(gè)粒子平均運(yùn)動(dòng)多遠(yuǎn)才能和其他粒子碰撞。 \HD:#a  
真空度越高，平均自由程越長，電子槍和離子源發(fā)出來原子或者離子就會(huì)更多的到達(dá)基板表面。 QfjoHeG7  
但是隨著腔體的逐漸變臟，鍍膜時(shí)候的真空度會(huì)變差，到達(dá)基板的原子和離子就會(huì)變少。 tv-SX=T  
一般會(huì)表現(xiàn)為外圈和內(nèi)圈的分布變化，還有折射率的變化。 HZ(giAyjq  
為了讓分布和折射率穩(wěn)定，在鍍膜過程中使用APC是個(gè)解決的辦法。 `m V(
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E\2f"s  
APC充氧口（也有充氮，充其他氣體的）的位置也很重要。 F`;q9<NYRW  
如果是補(bǔ)氧和維持真空度兼而有之的，一般充氧口放在底板的中心位置。 b 2\J<Nw  
如果有其他特殊原因（比如說工藝和外觀的要求），會(huì)有在傘圈下方100mm處放置一個(gè)充氧環(huán)， PY 五河县| 罗山县| 河池市| 扎囊县| 家居| 禄劝| 凤山县| 安远县| 安泽县| 荥经县| 乐陵市| 保康县| 太湖县| 安泽县| 平顺县| 商都县| 洪湖市| 庆城县| 德阳市| 西藏| 壤塘县| 乌苏市| 兴山县| 邯郸县| 通化市| 双峰县| 永泰县| 修水县| 宜宾市| 什邡市| 奉贤区| 如东县| 沙洋县| 郑州市| 额尔古纳市| 东城区| 康定县| 夏邑县| 嘉祥县| 香河县| 麻江县|