近幾年國內(nèi)興起來很多
鍍膜機制造廠家,老牌的國外鍍膜機廠家日漸衰微。
=Q4Wr0y><] 國外廠家以前值得夸耀的離子源
系統(tǒng)和光控系統(tǒng)國內(nèi)也基本攻克了,也就是穩(wěn)定性上有點優(yōu)勢。
yLQwG., 0r]-Ltvl?} 國內(nèi)鍍膜機上常見的離子源應(yīng)該是霍爾源和射頻源。
I?CfdI 這兩種源都利用了磁場--電子在磁場做圓周(螺旋)運動,
"O8iO!: 從而增加了
電子在空間的行程,增加了和工作氣體碰撞的幾率。
4Q~++PKBe 不同的是霍爾源一般是永磁鐵,磁場沒有變化;
\:E=B1 而射頻源是震蕩磁場,磁場會周期變化,電子也會周期振蕩。
M7//*Q'? 霍爾源一般沒有柵極,所以離子的能量(電壓)比較小,但是數(shù)量(電流)可以很大;
=:m6ge@C&H 射頻源有柵極,所以離子能量(電壓)可以加的很高,但是數(shù)量(電流)有限制。
*ch7z|wo. 一般鍍膜時候離子電壓在1kv水平就夠了;
9Rb
tFwbn 離子能量增大到10kv水平,這個能量能把基材表面的顆粒打飛,一般用于離子濺射;
\{ff7_mLo 離子能量加大到幾百萬電子伏特時,能把離子直接打進基材里面,這個就用在離子注入機上。
vUB*Qm]Y\ *OHaqe(* 射頻源的難點在于柵網(wǎng)和射頻匹配,
,{BF`5bn| 柵網(wǎng)受熱會膨脹變形,而柵網(wǎng)之間通常離得很近,受熱變形后就容易接觸打火。
vue=K 新的柵網(wǎng)還好說,隨著柵網(wǎng)越用越薄,變形的幾率就越來越大。
LT]YYn($ 進口柵網(wǎng)一般是整塊鉬塊掏制的,就是為了克服受熱變形。
mw~$;64;a 用鉬板旋壓則制作成本較低,但是變形量比掏制的要大很多。
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