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    [原創(chuàng)]隨便聊聊離子源 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 08-10
    近幾年國內(nèi)興起來很多鍍膜機制造廠家,老牌的國外鍍膜機廠家日漸衰微。 =Q4Wr0y><]  
    國外廠家以前值得夸耀的離子源系統(tǒng)和光控系統(tǒng)國內(nèi)也基本攻克了,也就是穩(wěn)定性上有點優(yōu)勢。 yLQwG.,  
    0r]-Ltvl?}  
    國內(nèi)鍍膜機上常見的離子源應(yīng)該是霍爾源和射頻源。 I?CfdI  
    這兩種源都利用了磁場--電子在磁場做圓周(螺旋)運動, "O8iO!:  
    從而增加了電子在空間的行程,增加了和工作氣體碰撞的幾率。 4Q~++PKBe  
    不同的是霍爾源一般是永磁鐵,磁場沒有變化; \:E=B1  
    而射頻源是震蕩磁場,磁場會周期變化,電子也會周期振蕩。 M7//*Q'?  
    霍爾源一般沒有柵極,所以離子的能量(電壓)比較小,但是數(shù)量(電流)可以很大; =:m6ge@C&H  
    射頻源有柵極,所以離子能量(電壓)可以加的很高,但是數(shù)量(電流)有限制。 *ch7z|wo.  
    一般鍍膜時候離子電壓在1kv水平就夠了; 9Rb tFwbn  
    離子能量增大到10kv水平,這個能量能把基材表面的顆粒打飛,一般用于離子濺射; \{ff7_mLo  
    離子能量加大到幾百萬電子伏特時,能把離子直接打進基材里面,這個就用在離子注入機上。 vUB*Qm]Y\  
    *OHaqe(*  
    射頻源的難點在于柵網(wǎng)和射頻匹配, ,{BF`5bn|  
    柵網(wǎng)受熱會膨脹變形,而柵網(wǎng)之間通常離得很近,受熱變形后就容易接觸打火。 vue=K  
    新的柵網(wǎng)還好說,隨著柵網(wǎng)越用越薄,變形的幾率就越來越大。 LT]YYn($  
    進口柵網(wǎng)一般是整塊鉬塊掏制的,就是為了克服受熱變形。 mw~$;64;a  
    用鉬板旋壓則制作成本較低,但是變形量比掏制的要大很多。 9''x'E=|  
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