隨著技術(shù)的發(fā)展,
LED的效率有了非常大的進(jìn)步。在不久的未來(lái)LED會(huì)代替現(xiàn)有的
照明燈泡。近幾年人們制造LED晶粒/芯片過(guò)程中首先在襯底上制作氮化鎵(GaN)基的晶圓(
外延片),晶圓所需的材料源(碳化硅SiC)和各種高純的氣體如氫氣H2或氬氣Ar等惰性氣體作為載體之后,按照制程的要求就可以逐步把晶圓做好。接下來(lái)是對(duì)LED-PN結(jié)的兩個(gè)電極進(jìn)行加工,并對(duì)LED毛片進(jìn)行減薄,劃片。然后對(duì)毛片進(jìn)行測(cè)試和分選,就可以得到所需的LED晶粒。具體的工藝做法,不作詳細(xì)的說(shuō)明。
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I 下面簡(jiǎn)單介紹一下LED芯片生產(chǎn)流程圖:
)SZzA' 總的來(lái)說(shuō),LED制作流程分為兩大部分:
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