光學(xué)鍍膜機(jī)的
維護(hù)包括腔室內(nèi)部及各部件的清理、各計(jì)量部件的定期校準(zhǔn)兩部分。
[Qqomm.[\w 一、真空腔室內(nèi)部及各部件的清理
CUN1.i<pk8 1.腔室內(nèi)部防護(hù)板
WS ^,@>A 周期：每月清理一次
p/U{*i ]t 先對(duì)防護(hù)板進(jìn)行更換，將污染的防護(hù)板送去噴砂處理、然后用去離子水清洗以去除表面灰塵、N2吹干，放入儲(chǔ)物柜以備下次更換。
;Rljx3!N 2.離子源清洗
*>h| <|T' 周期：50~100小時(shí)
0T7t. A.離子源拆裝（可參照光學(xué)鍍膜機(jī)
說(shuō)明書）
0Lf4 ^9N B.各個(gè)零件進(jìn)行噴砂，其中：
lc$wjK[w[ 柵網(wǎng)、石英杯噴砂壓力應(yīng)小于0.15MPa，砂子為粒度#100的Al粒子，操作距離30cm以上
2e9.U/9 C超聲清洗，丙酮、酒精各一次
+# 3e<+!F D.N2吹干，壓力在0.05-0.1MPa之間
al"
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