我們用光馳OTFC-1100機(jī)器做的窄帶,用間控光控控制,晶控輔助。SiO2,Ta2O5,材料。要求中心
波長(zhǎng)在1071nm,半波帶寬20nm。
3[VNsX 本來(lái)是成熟膜系,已經(jīng)做了有2年時(shí)間了,一直很穩(wěn)定,
`tVy_/3(9 但是最近出現(xiàn)膜系無(wú)規(guī)律漂移現(xiàn)象,中心波長(zhǎng)或漂移向長(zhǎng)波,或短波,漂移距離從4--20nm。
:c:V%0Yji 本來(lái)出現(xiàn)漂移也是正常現(xiàn)象,但是現(xiàn)在是完全無(wú)規(guī)律啊,有可能連續(xù)3罩次是沒有變化的,也有可能是每罩次都不一樣。
l!@ 1u^v2 最開始懷疑是單色儀出問(wèn)題,也就是控制波長(zhǎng)不準(zhǔn)確。送廠檢測(cè),用廠家來(lái)替換的單色儀做了幾次,還是一樣。
]\dHU.i 廠家說(shuō)可能 是光控托盤有問(wèn)題,換了一個(gè),還是一樣。
SiTeB)/ 其后還做了很多工作,都沒有解決問(wèn)題,
M*`hDdS 在這里請(qǐng)教各位同行,誰(shuí)做窄帶,或者用光馳機(jī)器出現(xiàn)這種情況的是什么原因,怎么解決的?
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